Produkt

Stora torra pumpar för tuffa processer

AD3KH serien: AD63KH och AD73KH

Avancerade lösningar för tillverkningsprocesser av plattskärmar och solceller samt halvledarprocesser

AD3KH Serien: stora torra pumpar för tuffa processer, AD63KH och AD73KH

Brett sortiment av pumpar med mycket hög kapacitet, ideala för exempelvis tillverkning av plattskärmar och solceller samt PECVD SiN, men även för halvledarprocesser som TiN, ALD...
Serien innehåller 2 modeller med olika flöde och volymer: AD63KH och AD73KH.

Egenskaper
• pumphastighet (upp 4,950 m3/h)
Finns i Hög vakuum och Högt flöde modell (upp till 75 slm H2 kontinuerligt, upp till 10 m3)
• Låg Cost of Ownership genom låg strömförbrukning, låg kylvattenförbrukning och hög flexibilität

Fördelar
• Väldigt låg energiförbrukning
• Kan användas med material innehållande Kvävetrifluorid (NF3)
• Hög skydd mot pulver och starkt frätande gaser
• Kan integreras i processövervakningssystem
• Separerat hjul monterade ramar för enkelt underhåll

Applikationer:
• Tillverkningsprocesser av plattskärmar och solceller (ARC, PECVD)
• Halvledarprocesser (ALD, TiN...)

AD3KH serien: AD63KH och AD73KH
Request a quotation Skicka en förfrågan Skicka

Överst på sidan
 

Kontakta oss Företaget Nyheter Event Site map Nyhetsbrev  


Välj hemsida :

Adixen Worldwide | Adixen China | Adixen Germany | Adixen France | Adixen India | Adixen Italy | Adixen Japan
Adixen Korea | Adixen Netherlands | Adixen Taiwan | Adixen UK | Adixen USA | Adixen Singapore
Copyright © 2010 Alcatel Vacuum Technology. All right reserved Legal Notices