Produkt

Processpumpar

ADP/ADS

Mångsidig, Kompakt, Tillförlitlig

ADP/ADS Serien

ADP/ADS serien täcker in många olika vakuumbehov med sin fyra olika modeller. Modellerna kan väljas i LM-version för rena applikationer, P-versioner för light/medium-applikationer och H-versioner för tuffa tillämpningar. Flera tillverkare inom halvledarindustrin har redan valt den här produkten som tillåter dem att minimera antalet oplanerade avbrott och därmed minska driftskostnaderna.

A3P serien

A3P serien har pumphastigheter från 100 m3/h till 1000 m3/h och täcker därmed in alla vakuumkrav i 300 mm halvledarprocesser till lägsta driftkostnad. Pumparna är speciellt utvecklade för att minska energikostnaderna, de gör endast åt 50 % av energikonsumtionen i jämförelse med konventionella vakuumpumpar. A3P serien har också ett av de lägsta vattenavkylningsflödena och reducerad kväverening.

Egenskaper:

• Låg energikonsumtion: endast 1,5 kW för en 1000 m3/h pump
• Kompakt design: endast 310-390 mm bred
• Multistegs rootsteknologi
• Resistent mot korrosion
• Låg ljudnivå
• Låg vibrationsnivå
• Efterföljer Semi S2

• Låga totalkostnader
• Kräver minimal golvyta
• Uppfyller halvledarindustrins alla krav

• Låg värmeutveckling. Vattenkonsumtionen är extremt låg
• Kvävgasflödet kan enkelt ställas in av användaren.

 


Applikationer:

• Etsning (oxid, poly)
• RTP (Rapid Therman Processing)
• Ashing/Stripping av fotoresist
• Implantation
• Load-lock
• Transferkammare
• PVD
• Sputtring
• PECVD, LPCVD

ADP/ADS

Dokumentation :

Download now Ladda hem broschyr (ENG) Ladda hem
Read now Ladda hem produktblad (ENG) Ladda hem
Request a quotation Skicka en förfrågan Skicka

Relaterade applikationer :

Halvledarindustri
Halvledarindustri


Överst på sidan
 

Kontakta oss Företaget Nyheter Event Site map Nyhetsbrev  


Välj hemsida :

Adixen Worldwide | Adixen China | Adixen Germany | Adixen France | Adixen India | Adixen Italy | Adixen Japan
Adixen Korea | Adixen Netherlands | Adixen Taiwan | Adixen UK | Adixen USA | Adixen Singapore
Copyright © 2010 Alcatel Vacuum Technology. All right reserved Legal Notices