Produkt

Processpumpar med låg driftkostnad

A3P serien

Torra pumpar med låg energikonsumtion

AP3 serien är speciellt utvecklad för att minska energikostnaderna

AP3 serien har pumphastigheter från 100 m3/h till 1000 m3/h och täcker därmed in alla vakuumkrav i 300 mm halvledarprocesser till lägsta driftkostnad.
Endast 50 % av energikonsumtionen i jämförelse med konventionella vakuumpumpar. AP3 serien har också ett av de lägsta vattenavkylningsflödena och reducerad kväverening. Tar dessutom bara upp halva golvytan.

Egenskaper:

• Låg energikonsumtion: endast 1,5 kW för en 1000 m3/h pump
• Kompakt design: endast 310 mm bred
• Multistegs rootsteknologi
• Resistent mot korrosion
• Låg ljudnivå
• Låg vibrationsnivå
• Efterföljer Semi S2
• Låga totalkostnader
• Kräver minimal golvyta
• Uppfyller halvledarindustrins alla krav

Applikationer:

• Etsning (oxid, poly)
• RTP (Rapid Therman Processing)
• Ashing/Stripping av fotoresist
• Implantation
A3P serien

Dokumentation :

Download now Ladda hem broschyr (ENG) Ladda hem
Request a quotation Skicka en förfrågan Skicka

Relaterade applikationer :

Halvledarindustri
Halvledarindustri


Överst på sidan
 

Kontakta oss Företaget Nyheter Event Site map Nyhetsbrev  


Välj hemsida :

Adixen Worldwide | Adixen China | Adixen Germany | Adixen France | Adixen India | Adixen Italy | Adixen Japan
Adixen Korea | Adixen Netherlands | Adixen Taiwan | Adixen UK | Adixen USA | Adixen Singapore
Copyright © 2010 Alcatel Vacuum Technology. All right reserved Legal Notices