Produkt

Integrerbar torr processpump

A100L

Standardpumpen för integration inom halvledarindustrin


Sedan A100L introducerades 1999 har torrpumpskonceptet blivit standard inom halvledarindustrin, pumpen finns idag installerad i alla 300 mm fabs runt om i världen.

Egenskaper:

Direkt integrerbara i processutrustningen
Eliminerar därmed långa pumpledningar

Ger pumphastighet på 100 m3/h direkt vid på plats.
Ersätter därmed större pumpar som placerats på avstånd.

Tyst och ren.
Avsedd för placering direkt i renrum.

Energisnål

Pålitlig

 
Applikationer:

• Load-locks
• Transferkammare
• Annealing
• PVD
• SEM
A100L

Dokumentation :

Download now Ladda hem produktblad (ENG) Ladda hem
Request a quotation Skicka en förfrågan Skicka

Relaterade applikationer :

Halvledarindustri
Halvledarindustri


Överst på sidan
 

Kontakta oss Företaget Nyheter Event Site map Nyhetsbrev  


Välj hemsida :

Adixen Worldwide | Adixen China | Adixen Germany | Adixen France | Adixen India | Adixen Italy | Adixen Japan
Adixen Korea | Adixen Netherlands | Adixen Taiwan | Adixen UK | Adixen USA | Adixen Singapore
Copyright © 2010 Alcatel Vacuum Technology. All right reserved Legal Notices