Produkt

Magnetlagrade hybridturbopumpar

ATH-M Serien

Pumpar designade för halvledarprocesser

Adixen Maglev magnetlagrade hybridturbopumpar

5 viktiga egenskaper
• Automatisk balansering
• Inbyggd uppvärmning till 75°C
• 5 aktiva axlar
• Inverterad gasspolning
• Inverterad dynamisk tätning (gäller endast ATH400 och ATH1300)


Anpassad för applikationer med hög genomströmning
ATH 400 M, ATH 1300 M,ATH 1600 M and ATH 2300 M är designade för högt tryck och hög genomströmning vilket behövs i halvledarprocesser och vid ytbeläggning.


Kompakt, modern design
• Justerbar rotationshastighet för bästa optimering
• Lång tid mellan fel (MTBF)
• Låg totalkostnad
• Låga ljud- och vibrationsnivåer
• Batterilös

ATH3200M 

Adixensortimentet utökas med att ATH3200M introduceras på marknaden, en Maglevpump med ISOF 320 fläns för högre kapacitet.

ATH3200M är designad för vakuumapplikationer som kräver höga pumphastigheter kombinerat med hög gasgenomströmning upp till 5000 sccm N2.

Denna pumps prestanda lämpar den för alla typer av processer inklusive halvledarapplikationer tillverkning av plattskärmar och solceller, ytbeläggning, rymdsimulering etc
 

Applikationer

• Ytbeläggning av glas
• Sputtring
• Elektronmikroskop
• Rymdsimuleringskammare
• Partikelacceleratorer
• Halvledarprocesser
• Ytbeläggning
• Forskning och utveckling

ATH-M Serien

Dokumentation :

Download now Ladda hem broschyr (ENG) Ladda hem
Read now Ladda hem produktblad (ENG) Ladda hem
Request a quotation Skicka en förfrågan Skicka

Relaterade applikationer :

Analytiska instrument & FoU
Analytiska instrument & FoU

Halvledarindustri
Halvledarindustri

Ytbeläggning
Ytbeläggning

Plattskärmar och solceller
Plattskärmar och solceller


Överst på sidan
 

Kontakta oss Företaget Nyheter Event Site map Nyhetsbrev  


Välj hemsida :

Adixen Worldwide | Adixen China | Adixen Germany | Adixen France | Adixen India | Adixen Italy | Adixen Japan
Adixen Korea | Adixen Netherlands | Adixen Taiwan | Adixen UK | Adixen USA | Adixen Singapore
Copyright © 2010 Alcatel Vacuum Technology. All right reserved Legal Notices